Infrared spectroscopy of oxide layers on technical Si wafers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied Physics A Solids and Surfaces 1986-04, Vol.39 (4), p.257-268
Hauptverfasser:	GROSSE, P, HARBECKE, B, HEINZ, B, MEYER, R, OFFENBERG, M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Exact sciences and technology Optical properties and condensed-matter spectroscopy and other interactions of matter with particles and radiation Optical properties of specific thin films Physics
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