The design of plasma etchants

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma chemistry and plasma processing 1981-12, Vol.1 (4), p.317-363
Hauptverfasser:	Flamm, Daniel L., Donnelly, Vincent M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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