A simple estimate of deposited energy and concentration profiles in films produced by ion-assisted physical vapour deposition

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Veröffentlicht in:	Applied Physics A Solids and Surfaces 1994-06, Vol.58 (6), p.619-622
Hauptverfasser:	GRIGOROV, K. G, BOUCHIER, D, GRIGOROV, G. I, VIGNES, J.-L, LANGERON, J.-P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Ion and electron beam-assisted deposition ion plating Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
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