Laser-assisted etching of gallium arsenide in chlorine at 308 nm

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied Physics A Solids and Surfaces 1991-11, Vol.53 (5), p.442-448
1. Verfasser:	BERMAN, M. R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Exact sciences and technology Optical properties and condensed-matter spectroscopy and other interactions of matter with particles and radiation Physics
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