Compositional and structural characterization of strained Si/Si x Ge1?x multilayers and interfaces by high-resolution transmission electron microscopy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied Physics A Solids and Surfaces 1993-11, Vol.57 (5), p.407-414
Hauptverfasser:	Stenkamp, D., J ger, W.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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