Plasma deposition of hydrogenated amorphous silicon : studies of the growth surface

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied Physics A Solids and Surfaces 1993-06, Vol.56 (6), p.493-512
1. Verfasser:	ABELSON, J. R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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