Fresh insights on the flow of electrons: Direct observation of spoke evolution in magnetron sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2018-02, Vol.30 (1), p.48-49
Format:	Artikel
Sprache:	eng
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