High performance hard carbon coatings (diamond‐like coatings): The family of coating types from Sulzer Metco Thin Film

Different dLc coating types are applied at an industrial scale by sulzer Metco thin Film. The coatings are generated with different coating architecture. Deposition methods are: magnetron sputtering, electron beam evaporation and PA‐cVd. Reactive magnetron sputtering is used to deposit metal containing a‐c:h coatings (a‐c:h:Me), e.g. MAXit W‐ch. Pure a‐c:h coatings as functional top coatings are used for cavidur®, MAXit® AhdLc and special versions of dylyn® coatings. In addition to the pure a‐c:h coatings, doped a‐c:h coatings are also used. The dylyn® family of coatings is comprised of at least one layer a‐c:h:si:O. The dylyn® coatings may be doped with metal (a‐c:h:ti:si:O) to adapt selected properties like electrical conductivity. Höchstleistungen durch Veredlung mit harten Kohlenstoffschichten Verschiedene DLC‐Schichtentypen werden von Sulzer Metco Thin Film in der industriellen Praxis appliziert. Diese werden in anwendungsorientierten Schichtarchitekturen dargestellt. Zur Schichtherstellungen kommen folgende Verfahren zum Einsatz: Magnetronsputtern , Elektronenstrahlverdampfung und PA‐CVD. Durch reaktives Magnetronsputtern werden metallhaltige a‐C:H‐Schichten (a‐C:H:Me) abgeschieden, z.B. das MAXIT® W‐C:H. Reine a‐C:H‐Schichten werden als Funktionsschicht bei der Gruppe der Cavidur®‐Schichten, beim MAXIT® AHDL sowie bei speziellen Arten der Dylyn®‐Schichten als Toplage dargestellt. Neben den reinen a‐C:H‐Schichten als Funktionsschicht kommen auch gedopte a‐C:H‐Schichten zum Einsatz. Die Gruppe der Dylyn®–Schichten umfasst eine optimierte Schichten, deren Schichtarchitektur zumindest eine Schicht des Typs a‐C:H:Si:O beinhaltet. Die a‐C:H:SI:O‐Schichten werden auch mit Metall gedopt (z.B. a‐C:H:Ti.Si:O), um deren Eigenschaften Maß zuschneidern (z.B. elektrische Leitfähigkeit).