Direct optical monitoring on the rotating substrate holder

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2008-04, Vol.20 (S1), p.21-25
1. Verfasser:	Zöller, Alfons
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext
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