Pumping speed measurement of turbomolecular pumps by a quasistationary pump-down method

The pumping speed of a turbomolecular pump is usually measured by injecting a stationary known gas flow via a standardised test dome into the pump and measuring the equilibrium pressure in the test dome. The ratio of gas throughput and pressure is just the pumping speed. In practice, the pressure can be conveniently and accurately measured, whereas the convenient and accurate throughput measurement is a challenging experimental problem. The present paper reports on a new method for measuring the pumping speed in which the throughput is generated by the pumping down of a vessel via an orifice. From the decrease of vessel pressure with time, and from known vessel volume, the throughput can be directly and accurately derived. Exploring measurements by the new method in fact give high accuracy, systematical error sources are practically negligible. Saugvermögensmessung an Turbomolekularpumpen mittels quasi‐stationärem Abpumpverfahren Das Saugvermögen einer Turbomolekularpumpe wird bekanntlich dadurch ermittelt, daß ein stationärer, bekannter Gasstrom über einen genormten Meßdom in die Pumpe einströmt und der sich im Meßdom einstellende Gleichgewichtsdruck gemessen wird. Der Quotient aus pV‐Gasdurchfluß und Druck gibt gerade das Saugvermögen. In der Praxis kann der Druck bequem und genau gemessen werden, während jedoch die bequeme und genaue Durchflußmessung ein herausforderndes experimentelles Problem ist. In der vorliegenden Arbeit wird über ein neues Verfahren zur Messung des Saugvermögens berichtet, bei dem der Gasstrom dadurch erzeugt wird, daß ein Behälter über eine Drosselblende abgepumpt wird. Aus der zeitlichen Abnahme des Behälterdrucks kann bei bekanntem Behältervolumen der Durchfluß auf direkte Weise genau ermittelt werden. Die Erprobung der neuen Methode ergibt in der Tat eine hohe Genauigkeit, systematische Fehlerquellen sind praktisch vernachlässigbar.