Plasmaunterstütztes Aufdampfverfahren eröffnet neue Perspektiven in der Brillen‐ und Feinoptik
Ein plasmaunterstütztes Aufdampfverfahren zur Herstellung optisch wirksamer dünner Schichten führt bereits bei niederen Substrattemperaturen zu hervorragenden Schichteigenschaften. Anhand der Untersuchungen von Einzelschichten im Vergleich zum konventionellen Verfahren wird der physikalische Effekt,...
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Veröffentlicht in: | Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 1997, Vol.9 (1), p.19-24 |
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1. Verfasser: | |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | Ein plasmaunterstütztes Aufdampfverfahren zur Herstellung optisch wirksamer dünner Schichten führt bereits bei niederen Substrattemperaturen zu hervorragenden Schichteigenschaften. Anhand der Untersuchungen von Einzelschichten im Vergleich zum konventionellen Verfahren wird der physikalische Effekt, welcher zur Verbesserung der Schichteigenschaften führt, verdeutlicht. Bei der Beschichtung von Kunststoff‐Brillengläsern wird die Durchlaufzeit bei Sicherstellung einer hohen Qualität des Endproduktes drastisch reduziert. Die Herstellung extrem temperaturstabiler Interferenzfilter für die Glasfaserübertragungstechnik demonstriert die Leistungsfähigkeit dieser noch relativ neuen Technik.
Plasma‐ion assisted deposition, a newly developed evaporation technique for the production of optical coatings results, in outstanding film properties even at a low substrate temperature. The results of single layer investigations in comparison with conventional evaporation demonstrate the physical effects that improve the film properties.
The combination of hard‐ and anti reflexion coating in one vacuum process for plastic eye glass lenses reduces the production time drastically while the quality of the finished product is secured.
The production of ultra stable interference filters for fiber optic communication applications demonstrates the superior ability of this technology. |
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ISSN: | 0947-076X 1522-2454 |
DOI: | 10.1002/vipr.19970090106 |