Film deposition by plasma techniques (Schichtabscheidung mit Plasmaverfahren). von K. Konuma, Springer Series on Atoms and Plasmas, Band 10, Berlin: Springer (1992), ca. 250 S., DM 98

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis 1994, Vol.6 (1), p.59-59
Format:	Review
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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