Growth of c -axis-oriented aluminum nitride thin films onto different substrates and buffer layers: Growth of c -axis-oriented aluminum nitride thin films

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Surface and interface analysis 2015-04, Vol.47 (4), p.447-453
Hauptverfasser:	Mori, T. J. A., Della Pace, R. D., de Andrade, A. M. H., Corrêa, M. A., Stamenov, P., Schelp, L. F., Dorneles, L. S.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!