Challenging material patterning: Fine lithography on coarse substrates: Challenging material patterning

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Scanning 2014-05, Vol.36 (3), p.362-367
Hauptverfasser:	Gilles, Sandra, Steppert, Ann-Kathrin, Schaal, Patrick A., Barth, Martin, Niewoehner, Ludwig, Simon, Ulrich
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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