AlYN Thin Films with High Y Content: Microstructure and Performance
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Veröffentlicht in: | Physica status solidi. PSS-RRL. Rapid research letters 2023-10, Vol.17 (10) |
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Hauptverfasser: | , , , , , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1862-6254 1862-6270 |
DOI: | 10.1002/pssr.202370020 |