No‐Heating Deposition of 1‐μm‐Thick Y‐Doped HfO 2 Ferroelectric Films with Good Ferroelectric and Piezoelectric Properties by Radio Frequency Magnetron Sputtering Method

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physica status solidi. PSS-RRL. Rapid research letters 2022-10, Vol.16 (10)
Hauptverfasser:	Shimura, Reijiro, Mimura, Takanori, Tateyama, Akinori, Shiraishi, Takahisa, Shimizu, Takao, Yamada, Tomoaki, Tanaka, Yoshitomo, Inoue, Yukari, Funakubo, Hiroshi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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