Mist Chemical Vapor Deposition Growth of α‐In 2 O 3 Films Using Indium Oxide Powder as Source Precursor

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	physica status solidi (b) 2022-02, Vol.259 (2)
Hauptverfasser:	Taguchi, Akito, Takahashi, Subaru, Sekiguchi, Atsushi, Kaneko, Kentaro, Fujita, Shizuo, Onuma, Takeyoshi, Honda, Tohru, Yamaguchi, Tomohiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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