Charge Transport Mechanism in Atomic Layer Deposited Oxygen‐Deficient TaO x Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	physica status solidi (b) 2021-03, Vol.258 (3)
Hauptverfasser:	Gismatulin, Andrei, Gritsenko, Vladimir, Perevalov, Timofey, Kuzmichev, Dmitry, Chernikova, Anna, Markeev, Andrey
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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