Nondestructive method of thin-film dielectric constant measurements by two-wire capacitor: Measurement of dielectric constant in thin films

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	physica status solidi (b) 2017-04, Vol.254 (4), p.1600476
Hauptverfasser:	Kondovych, Svitlana, Luk'yanchuk, Igor
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!