Electrical and optical properties of zinc oxide layers grown by the low-temperature atomic layer deposition technique: Electrical and optical properties of ZnO layers grown by LT ALD

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	physica status solidi (b) 2010-07, Vol.247 (7), p.1653-1657
Hauptverfasser:	Krajewski, Tomasz A., Dybko, Krzysztof, Luka, Grzegorz, Wachnicki, Lukasz, Witkowski, Bartlomiej S., Duzynska, Anna, Kopalko, Krzysztof, Lusakowska, Elzbieta, Kowalski, Bogdan J., Godlewski, Marek, Guziewicz, Elzbieta
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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