Formation of Si/SiGe nanostructures by selective low pressure VPE

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physica status solidi. A, Applied research Applied research, 1995-09, Vol.151 (1), p.165-169
Hauptverfasser:	Schmidt, G., Tuzinski, R., Heime, K., Richter, U.
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext
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