Spatially resolved reflection spectroscopy at inclined cut surfaces for analysis of doping profiles

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physica status solidi. A, Applied research Applied research, 1985-11, Vol.92 (1), p.K37-K41
Hauptverfasser:	Kessler, F. R., Barkow, U., Pätzold, U.
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext
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