Silicon amorphization by ion beam with radiation heating

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physica status solidi. A, Applied research Applied research, 1981-06, Vol.65 (2), p.453-461
Hauptverfasser:	Danilin, A. B., Dvurechenskii, A. V., Ryazantsev, I. A., Timofeev, P. A., Verner, V. D.
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext
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