Amorphous to crystalline state conversion in deposited silicon layers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Physica status solidi. A, Applied research Applied research, 1981-02, Vol.63 (2), p.743-749
Hauptverfasser: Kalitzova, M. G., Simov, S. B., Pantchev, B. G., Danesh, P., Kirov, K. I., Djakov, A. E.
Format: Artikel
Sprache:ger
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0031-8965
1521-396X
DOI:10.1002/pssa.2210630245