Investigation of the Defect Distribution of Laser Contact Opening Applied to Poly‐Si/SiN x Stacks

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physica status solidi. A, Applications and materials science Applications and materials science, 2022-04, Vol.219 (8)
Hauptverfasser:	Steinhauser, Bernd, Arya, Varun, Jakob, Leonie, Heinz, Friedemann D., Schmiga, Christian, Grübel, Benjamin, Brand, Andreas A., Kluska, Sven, Nekarda, Jan F.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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