Hybrid Passivation for Foldable Indium Gallium Zinc Oxide Thin‐Film Transistors Mediated by Low‐Temperature and Low‐Damage Parylene‐C/Atomic Layer Deposition‐AlO x Coating

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physica status solidi. A, Applications and materials science Applications and materials science, 2020-06, Vol.217 (12)
Hauptverfasser:	Zhan, Shijie, Han, Soodeok, Bang, Sang Yun, Li, Benxuan, Chun, Young Tea, Hou, Bo, Kim, Jong Min
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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