Effects of glass substrate coated by different-content buffer layer on the quality of poly-Si thin films: Effects of coated glass substrate on the quality of poly-Si thin films
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Veröffentlicht in: | Physica status solidi. A, Applications and materials science Applications and materials science, 2016-12, Vol.213 (12), p.3142-3149 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1862-6300 |
DOI: | 10.1002/pssa.201600197 |