Evolution of the microstructure in titanium dioxide films during chemical vapor deposition: Evolution of the microstructure in titanium dioxide films

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Veröffentlicht in:Physica status solidi. A, Applications and materials science Applications and materials science, 2015-07, Vol.212 (7), p.1533-1538
Hauptverfasser: Baryshnikova, Marina, Filatov, Leonid, Mishin, Maxim, Uvarov, Andrey, Kondrateva, Anastasia, Alexandrov, Sergey
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1862-6300
DOI:10.1002/pssa.201532300