Effects of in-situ molecular oxygen exposure on the modulation of electrical properties of zinc oxide thin films grown by atomic layer deposition: Modulation of electrical properties of zinc oxide thin films

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physica status solidi. A, Applications and materials science Applications and materials science, 2015-02, Vol.212 (2), p.323-328
Hauptverfasser:	Park, Hui Kyung, Yang, Bong Seob, Kim, Myung Sang, Park, Sanghyun, Han, Jeong Hwan, Shin, Jae Cheol, Heo, Jaeyeong
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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