Highly reliable mobile liquid crystal display using AlO x deposited by atomic layer deposition for side sealing structure: Highly reliable LCD using AlO x deposited by ALD

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Society for Information Display 2015-11, Vol.23 (11), p.503-509
Hauptverfasser:	Ishitani, Tetsuji, Kubota, Daisuke, Nakano, Masaru, Kubota, Yusuke, Moriya, Koji, Yamashita, Akio, Sakurada, Yujiro, Kusunoki, Koji, Shishido, Hideaki, Sugimoto, Kazuya, Hirakata, Yoshiharu, Yamazaki, Shunpei, Hayakawa, Masahiko
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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