Mitsuharu konuma film deposition by plasma techniques; 1992. X, 224 pp. 185 figs., 30 tabs. (Springer Series on Atoms and Plasmas. Eds: G. Ecker, P. Lambropoulos, I. I. Sobelman, H. Walter. Vol. 10) Hardcover DM 98,- ISBN 3-540-54057-1

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Contributions to Plasma Physics 1992, Vol.32 (6), p.649-650
1. Verfasser:	Schmidt, M.
Format:	Review
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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