The investigation of silicon web structural perfection

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Kristall und Technik 1975, Vol.10 (11), p.K115-K116
Hauptverfasser:	Dashevsky, M. Ya, Isaakyan, V. A., Savelyeva, L. I.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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