Deposition of poly-p-xylylene films by plasma decomposition of cyclodi-p-xylylene

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of applied polymer science 1995-07, Vol.57 (1), p.117-119
Hauptverfasser:	Krasovsky, A. M., Tolstopyatov, E. M., Grakovich, P. N.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Physicochemistry of polymers Polymerization Polymers and radiations
Online-Zugang:	Volltext
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