Electrons as “Invisible Ink”: Fabrication of Nanostructures by Local Electron Beam Induced Activation of SiO x

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Angewandte Chemie International Edition 2010-06, Vol.49 (27), p.4669-4673
Hauptverfasser:	Walz, Marie‐Madeleine, Schirmer, Michael, Vollnhals, Florian, Lukasczyk, Thomas, Steinrück, Hans‐Peter, Marbach, Hubertus
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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