基于电子理论的电镀薄膜内应力分析（英文）

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	中国有色金属学报：英文版 2016 (9), p.2413-2418
1. Verfasser:	任凤章 殷立涛 王姗姗 熊毅 A.A.VOLINSKY 田保红 魏世忠
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	金属薄膜 沉积 界面 内应力 电子密度
Online-Zugang:	Volltext
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