磁控溅射W/DLC/W-S-C复合膜的制备及其性能

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	中国有色金属学报：英文版 2015, Vol.25 (9), p.3002-3011
1. Verfasser:	代明江 韦春贝 周克崧 朱敏 侯惠君 林松盛 佟鑫
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	W/DLC/W-S-C复合膜 摩擦因数 磁控溅射 结合强度
Online-Zugang:	Volltext
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