脉冲偏压对304不锈钢表面多弧离子镀CrAlN薄膜结构和耐蚀性能的影响

目前，鲜见有关脉冲偏压对多弧离子镀CrAlN薄膜耐蚀性能影响的报道。以不同的脉冲偏压在304不锈钢表面多弧离子镀CrAlN薄膜。采用扫描电镜、显微镜、X射线衍射仪、硬度仪、粗糙度仪分析了CrAlN薄膜的表面形貌、相结构、硬度、表面粗糙度及耐蚀性能，分析了脉冲偏压对相关性能的影响。结果表明：随着脉冲偏压幅值的增大，CrAlN薄膜表面大颗粒及凹坑尺寸和数量减少，薄膜质量提高；CrAlN薄膜主要由（Cr，Al）N相组成，随着偏压增加，CrAlN薄膜出现（220）择优取向；CrAlN薄膜表面粗糙度随脉冲偏压增大而减小，显微硬度随脉冲偏压的增大而增大；CrAlN薄膜在3．5％NaCl溶液中的耐蚀性随着脉冲偏压的增大而增大，脉冲偏压为400V时，CrAlN薄膜与基体304不锈钢的腐蚀速率之比为0．34，薄膜的综合性能最好。