磁控溅射Ti-50％Zr合金薄膜不同厚度时的结构

为了研究Ti-Zr合金薄膜厚度对其结构的影响，通过磁控溅射沉积技术在7105栽玻片上制备了不同厚度的Ti-50％Zr（原子分数）合金薄膜。利用X射线衍射（XRD）、X射线吸收精细结构谱（XAFS）和X光电子谱（XPS）技术研究了Ti-Zr合金薄膜的晶体结构、元素局域结构和电子结构状态。结果表明，随着Ti-50％Zr薄膜厚度的减小，薄膜由结晶态变为非晶态，薄膜中元素的最近邻原子距离和配位数减小，薄膜中元素的电子结合能逐渐增强。