二氧化钒纳米孔洞薄膜的光学特性

为了进一步改善二氧化钒（VO2）薄膜的光学特性，基于有效介质近似理论和VO2在不同温度和波长下的折射率和消光系数，建立了研究VO2纳米周期孔洞薄膜光学特性的数学模型。采用磁控溅射和氧化退火方法，先在石英衬底上制备VO2薄膜，再经多孔氧化铝掩膜和离子束刻蚀工艺，制备了VO2纳米孔洞薄膜。结果表明，随着孔隙率的增加，反射率最低点向短波长移动。与在石英衬底上制备的VO2薄膜相比，VO2纳米孔洞薄膜的透过率明显优于VO2薄膜，在红外区域透过率提高了20％，具有较好的热致变色特性和应用潜力。