一种新型纳机电硅谐振器的频率响应特性

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	东南大学学报：英文版 2012, Vol.28 (3), p.310-314
1. Verfasser:	于虹 袁为民 刘春胜 岳东旭 吴士杰 顾勇 陈志远 黄庆安
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	纳机电系统 纳米梁 谐振频率 过腐蚀
Online-Zugang:	Volltext
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