弛豫铁电0.74Pb（Mg_（1/3）Nb_（2/3））O_3-0.26PbTiO_3薄膜的微结构和光学性能

弛豫铁电0.74Pb（Mg_（1/3）Nb_（2/3））O_3-0.26PbTiO_3薄膜的微结构和光学性能

采用磁控溅射法,选用LaNi O3作为缓冲层,在硅基片上制备出了0.74Pb（Mg1/3Nb2/3）O3-0.26PbTiO3弛豫铁电薄膜.研究了沉积温度对薄膜的微结构和光学性能的影响.其中,沉积温度为500oC时制备的薄膜,不仅具有纯的钙钛矿结构,高度（110）择优取向、致密、无裂纹的形貌、而且具有最大的剩余极化,大小为17.2μC/cm2.使用柯西模型进行拟合反射谱,分析得到薄膜的折射率和消光系数.在波长为633 nm时,500oC沉积的薄膜的折射率大小为2.41.另外,薄膜的光学带隙在2.97～3.22 eV范围内.并初步讨论了这些薄膜的光学性能的差异....

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Veröffentlicht in:红外与毫米波学报 2012, Vol.31 (4), p.289-293
1. Verfasser: 田玥 唐艳学 周丹 胡志娟 王飞飞 陈心满 刘锋 王涛 谢东珠 孙大志 石旺舟 胡古今 孔伟金
Format: Artikel
Sprache:chi
Schlagworte:
PMN-0.26PT铁电薄膜
折射率
消光系数
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Beschreibung
Zusammenfassung:采用磁控溅射法,选用LaNi O3作为缓冲层,在硅基片上制备出了0.74Pb（Mg1/3Nb2/3）O3-0.26PbTiO3弛豫铁电薄膜.研究了沉积温度对薄膜的微结构和光学性能的影响.其中,沉积温度为500oC时制备的薄膜,不仅具有纯的钙钛矿结构,高度（110）择优取向、致密、无裂纹的形貌、而且具有最大的剩余极化,大小为17.2μC/cm2.使用柯西模型进行拟合反射谱,分析得到薄膜的折射率和消光系数.在波长为633 nm时,500oC沉积的薄膜的折射率大小为2.41.另外,薄膜的光学带隙在2.97～3.22 eV范围内.并初步讨论了这些薄膜的光学性能的差异.
ISSN:1001-9014