低氟TFA-MOD工艺快速制备YBCO超导厚膜的研究

为提高TFA-MOD工艺制备YBCO薄膜的生产效率,实验采用了丙烯酸盐对传统三氟乙酸盐进行部分替换.由于前驱溶液中氟含量的减少,低温预处理过程升温速率可达到300℃/h;并通过对低温预烧工艺中气氛的调整,避免了增稠剂二乙醇胺的添加对薄膜质量造成的不利影响,使其添加上限达到0.75g/5mL.经过工艺改进,单次涂膜厚度可达到1μm.虽然由于厚度的增加,表面有a轴晶粒出现,但薄膜内部仍具有较优的微观结构.其临界电流密度（Jc）及临界转变温度（Tc）分别达到3.5MA/cm2和90K....

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Veröffentlicht in:	Wu ji cai liao xue bao 2010 (9), p.971-974
1. Verfasser:	汤潇索红莉叶帅刘敏吴紫平周美玲
Format:	Artikel
Sprache:	chi
Schlagworte:	TFA-MOD YBCO 丙烯酸二乙醇胺
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	为提高TFA-MOD工艺制备YBCO薄膜的生产效率,实验采用了丙烯酸盐对传统三氟乙酸盐进行部分替换.由于前驱溶液中氟含量的减少,低温预处理过程升温速率可达到300℃/h;并通过对低温预烧工艺中气氛的调整,避免了增稠剂二乙醇胺的添加对薄膜质量造成的不利影响,使其添加上限达到0.75g/5mL.经过工艺改进,单次涂膜厚度可达到1μm.虽然由于厚度的增加,表面有a轴晶粒出现,但薄膜内部仍具有较优的微观结构.其临界电流密度（Jc）及临界转变温度（Tc）分别达到3.5MA/cm2和90K.
ISSN:	1000-324X