纳米压痕过程温度影响的分子动力学研究

建立了基于AFM的单晶铜薄膜纳米压痕过程的三维分子动力学模型,采用Morse势函数计算试件原子与压头原子之间,试件原子之间的相互作用关系。研究了不同温度的纳米压痕过程中试件变形区域大小、系统能量变化。结果显示单晶铜薄膜的纳米压痕的力学机理是非晶态产生的变形。温度对纳米压痕过程有显著的影响。压痕过程中试件材料变形区域面积随着温度的增高而增加。不同温度下的系统势能-步长曲线的变化趋势基本相同,但是系统势能值随着温度的增加而减小。