电泳沉积法制备Ba0．6Sr0．4TiO3厚膜及其电学性能研究

电泳沉积法制备Ba0．6Sr0．4TiO3厚膜及其电学性能研究

采用电泳沉积法在Pt／Ti／SiO2／Si基底上制备了厚度为33μm的Ba0．6Sr0．4TiO3（BST40）厚膜，研究了其介电调谐特性、漏电流特性和铁电特性．实验结果表明：采用水热法制备纳米BST40粒子，经250MPa高压压制，950℃热处理后，BST40厚膜可形成完整的立方钙钛矿结构且表面致密、无裂纹．ε—V特性表明，1kHz时厚膜调谐率可达59．2％．I-V特性表明，当电压从-25～25V变化时，漏导电流〈100μA／cm^2．测量了在1kHz，不同温度下厚膜的电滞回线．在0℃时，其剩余极化强度为1．06μC／cm^2．...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Wu ji cai liao xue bao 2008, Vol.23 (4), p.687-690
1. Verfasser: 符云飞 樊慧庆 邓永丽 陈晋
Format: Artikel
Sprache:chi
Schlagworte:
BST厚膜
电泳沉积
电滞回线
调谐率
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Beschreibung
Zusammenfassung:采用电泳沉积法在Pt／Ti／SiO2／Si基底上制备了厚度为33μm的Ba0．6Sr0．4TiO3（BST40）厚膜，研究了其介电调谐特性、漏电流特性和铁电特性．实验结果表明：采用水热法制备纳米BST40粒子，经250MPa高压压制，950℃热处理后，BST40厚膜可形成完整的立方钙钛矿结构且表面致密、无裂纹．ε—V特性表明，1kHz时厚膜调谐率可达59．2％．I-V特性表明，当电压从-25～25V变化时，漏导电流〈100μA／cm^2．测量了在1kHz，不同温度下厚膜的电滞回线．在0℃时，其剩余极化强度为1．06μC／cm^2．
ISSN:1000-324X