一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析

一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析

提出了一种微光机电系统（MoEMS）可调谐滤波器结构，该结构采用GaAs／AlGaAs作为下分布布拉格反射镜（DBR），GaAs和SiO2／Si介质膜作为上DBR，空气作为腔．按照波分复用系统的性能要求对MOEMS可调谐滤波器各项参数，如带宽、峰值透射率、挠度和调谐速度等进行了分析和设计．研究了挠度和调谐速度与梁厚度、宽度、长度等参数的关系．结果表明挠度与长度成正方向变化，同梁厚度、宽度成反方向变化，而调谐速度与各参数的关系恰好相反．...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of semiconductors 2007, Vol.28 (1), p.117-121
1. Verfasser: 吴旭明 王小东 何国荣 王青 曹玉莲 谭满清
Format: Artikel
Sprache:chi
Schlagworte:
微光机电系统
滤波器
调谐
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:提出了一种微光机电系统（MoEMS）可调谐滤波器结构，该结构采用GaAs／AlGaAs作为下分布布拉格反射镜（DBR），GaAs和SiO2／Si介质膜作为上DBR，空气作为腔．按照波分复用系统的性能要求对MOEMS可调谐滤波器各项参数，如带宽、峰值透射率、挠度和调谐速度等进行了分析和设计．研究了挠度和调谐速度与梁厚度、宽度、长度等参数的关系．结果表明挠度与长度成正方向变化，同梁厚度、宽度成反方向变化，而调谐速度与各参数的关系恰好相反．
ISSN:1674-4926