液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性对红外透射光谱的影响

用多层模型和膜系传递矩阵计算了HgCdTe／CdZnTe外延薄膜的红外透射光谱，结果表明组分扩散区主要影响透射光谱的干涉条纹和透射率小于10％的区域，而组分梯度区则影响吸收边斜率．横向组分波动也将影响透射光谱的吸收边斜率，当组分均方差小于0．005时，横向组分波动对透射光谱影响可以忽略．用新的组分分布模型计算了HgCdTe／CdZnTe液相外延薄膜的理论透射光谱，并运用非线性二乘法使理论曲线能够很好地与实验结果吻合，从而获得了更加可信的HgCdTe外延薄膜的纵向组分分布和厚度参数．...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of semiconductors 2005, Vol.26 (5), p.904-909
1. Verfasser:	王庆学魏彦锋杨建荣何力
Format:	Artikel
Sprache:	chi
Schlagworte:	HgCdTe外延薄膜多层模型横向组分波动纵向组分分布膜系传递矩阵
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Beschreibung
Zusammenfassung:	用多层模型和膜系传递矩阵计算了HgCdTe／CdZnTe外延薄膜的红外透射光谱，结果表明组分扩散区主要影响透射光谱的干涉条纹和透射率小于10％的区域，而组分梯度区则影响吸收边斜率．横向组分波动也将影响透射光谱的吸收边斜率，当组分均方差小于0．005时，横向组分波动对透射光谱影响可以忽略．用新的组分分布模型计算了HgCdTe／CdZnTe液相外延薄膜的理论透射光谱，并运用非线性二乘法使理论曲线能够很好地与实验结果吻合，从而获得了更加可信的HgCdTe外延薄膜的纵向组分分布和厚度参数．
ISSN:	1674-4926