Einfuhrung in die Mikrosystemtechnik: Grundlagen und Praxisbeispiele

Mikrosystemtechnik trägt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen dieser künftigen Schlüsseltechnologie Rechnung. Als Lehrbuch konzipiert, erschließt es dem Leser Grundlagen und Anwendungen komplexer Mikrosysteme, in denen elektronische, mechanische und optische Funktionselemente auf kleinstem Raum integ...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Volklein, Friedemann, Mildenberger, Otto, Zetterer, Thomas
Format:	Buch
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Mikrosystemtechnik trägt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen dieser künftigen Schlüsseltechnologie Rechnung. Als Lehrbuch konzipiert, erschließt es dem Leser Grundlagen und Anwendungen komplexer Mikrosysteme, in denen elektronische, mechanische und optische Funktionselemente auf kleinstem Raum integriert sind.