フリーズ・エッチング法における凍結剥離の一技法 : サンドウィッチ法

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	[Teion kagaku] Low temperature science 1973, Vol.31, p.67-72
Hauptverfasser:	根井, 外喜男, 浅田, 実
Format:	Artikel
Sprache:	jpn
Online-Zugang:	Volltext
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