Atomic Layer Deposition Growth of BaB2O4 Thin Films from an Exceptionally Thermally Stable Tris(pyrazolyl)borate-Based Precursor

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chemistry of materials 2009-08, Vol.21 (16), p.3742-3744
Hauptverfasser:	Saly, Mark J, Munnik, Frans, Baird, Ronald J, Winter, Charles H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemical Vapor Deposition Coatings, Thin films, and Monolayers Inorganic Solids and Ceramics
Online-Zugang:	Volltext
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