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    Microelectronic processes, sensors, and controls 27 - 29 September 1993, Monterey, California

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    Veröffentlicht 1994
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    Leveraging technology for a sustainable world proceedings of the 19th CIRP Conference on Life Cycle Engineering, University of California at Berkeley, Berkeley, USA, May 23 - 25, 2012

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    Veröffentlicht 2012
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